1月19日,国内首条碳化硅全产业链生产线厂房、湖南首个第三代半导体产业园项目(一期)Ⅰ标段全面封顶。
芯片厂房华夫板厚度为70cm,可抗微震。华夫板面积为14100㎡,其中浇筑有35000个直径35cm的奇氏筒,相当于每2㎡就有5个用于换气的圆形孔洞。
项目效果图。
红网时刻1月19日讯(记者 童妙 通讯员 褚兴科 王丽)今天,湖南三安半导体项目最大单体M2B芯片厂房顺利封顶,这意味着,国内首条碳化硅全产业链生产线厂房、湖南首个第三代半导体产业园项目(一期)Ⅰ标段全面封顶。
该项目位于长沙高新区白马镇许龙路西侧,总投资160亿元,分两期建设,当前项目一期由中建五局三公司负责施工建设,主要包含碳化硅长晶、衬底、外延、芯片、器件封装等厂房及相关配套设施建设。
湖南三安半导体有限责任公司项目管理部经理张博若介绍,项目全部建成后,将形成两条并行的碳化硅研发、生产全产业链生产线,可生产高质量、低成本、高稳定性碳化硅衬底及各类器件,将广泛应用于新能源汽车、高铁机车、航空航天和无线(5G)通讯等领域。预计可实现年产值120亿元以上,可直接提供4500个就业岗位,并带动上下游配套产业产值预计超1000亿,提供近10000个就业岗位。
半导体由于其精密性,对环境洁净度、温湿度、振动、静电控制、气态分子级污染物等有很高的要求,芯片生产车间对于生产环境的空气洁净度非常挑剔。一粒小小的粉尘,粘在芯片上也可能造成短路,进而直接影响成品率。
“项目建成后将服务于技术密集型半导体产业,我们需要完成对空气洁净度有着高要求的7座单体,其中衬底、外延厂房提出了‘千级’洁净度的要求,而芯片厂房更是提出了‘百级’洁净度的要求。”中建五局三公司三安半导体项目技术负责人陆建臻介绍,“百级”洁净,即每立方英尺的空气中≥0.5微米粒径的粒子数量不超过100个,堪比最高洁净等级手术室的标准。数值越小,代表净化级别越高。普通公共场所杀菌消毒可参照三十万级标准,医院ICU病房杀菌消毒参照十万级标准。
为保证无尘洁净室大面积生产车间的空气洁净度,需做好华夫板(利用楼板内孔洞形成回风通道的楼板)高精度施工,建立洁净空调通风系统形成回风通道。为此,项目在施工过程中每一步都会进行严格的技术复核、严格的施工过程技术控制。
据了解,芯片厂房华夫板厚度为70cm,可抗微震。华夫板面积为14100㎡,其中浇筑有35000个直径35cm的奇氏筒,相当于每2㎡就有5个用于换气的圆形孔洞。届时,芯片产线将布置于华夫板之上,整个车间利用新风系统进气保证正压,并通过华夫板回风通道排气,保证车间洁净度。
来源:红网
作者:童妙 褚兴科 王丽
编辑:贾迪
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